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光柵尺在機械加工中的應(yīng)用

更新時間:2024-09-14      點擊次數(shù):587
  在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究中,精度的追求永無止境。而光柵尺,作為一種能夠提供高精度位移測量的儀器,發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。
  光柵尺通常是刻在玻璃或鋼帶基體上1。玻璃一般用于短行程尺子,大長度尺子則多采用鋼帶作為基體。其通過光刻刻上去的一系列條紋和狹縫,一個條紋和一個狹縫的寬度稱為柵距,常見柵距為20um。
  讀數(shù)頭是光柵尺的關(guān)鍵部分。讀數(shù)頭每掃描一個柵距,就會產(chǎn)生一個正弦波信號周期。此信號再通過一個電子電路進行細分,比如5倍、10倍、50倍、100倍的細分,從而可以達到很高的分辨率1。例如,一個20um柵距,經(jīng)過50倍細分,一個周期就變?yōu)?.4um,這就是廠商所說的分辨率。
  在工作時,讀數(shù)頭中有和尺體柵距一樣的指示光柵,并且讀數(shù)頭中本身有LED光源。當讀數(shù)頭相對于光柵尺移動時,LED光在經(jīng)過聚焦鏡后,照射到光柵尺上,然后光通過光柵狹縫,衍射到讀數(shù)頭的光電探測器上,這樣就在探測器平面上,產(chǎn)生了明暗相間的正弦干涉條紋1。需要注意的是,實際情況中,光電探測器和LED在光柵尺的同一側(cè),都集成在讀數(shù)頭中。當光照射到光柵尺后,有一部分光會反射回去,然后通過聚焦鏡,照射回光電探測器,形成電信號。
  光柵尺的精度表現(xiàn)出色,有±15μm、±5μm、±3μm、±1μm等多種規(guī)格1。需要指出的是,這里說的精度,是光柵尺的制造誤差,指每走1m實際可能的誤差。而在小距離行走時,誤差會更小,比如±0.275μm/10mm,±0.750μm/50mm。這意味著在短行程的測量中,光柵尺能夠提供更為精確的結(jié)果。
  光柵尺位移傳感器經(jīng)常應(yīng)用于機床與現(xiàn)代加工中心以及測量儀器等方面,可用作直線位移或者角位移的檢測2。其測量輸出的信號為數(shù)字脈沖,具有檢測范圍大,檢測精度高,響應(yīng)迅速等優(yōu)點。
  在實際應(yīng)用中,光柵尺有著廣泛的用途。各類測量機構(gòu)、儀器的位移測量,如彈簧試驗機、三坐標機、投影儀等都離不開它3。各類機床的數(shù)顯系統(tǒng),如車床、銑床、磨床、鏜床、電火花、鉆床等,也因光柵尺的存在而實現(xiàn)了數(shù)字化的精確控制。各類數(shù)控機床的配套使用,如數(shù)控銑、加工中心、數(shù)控磨等,更是讓加工精度和效率得到了顯著提升。
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